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闭循环低温系统

用于在低温环境下的光性能测试

200

2023年5月

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紫外和红外光谱仪

用于量子材料的表证和器件研究

120

2023年5月

3

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超导量子干涉磁测量系统

用于测量器件的微弱磁信号

550

2023年5月

4

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高通量低温强磁场测量系统

用于低温强磁场环境下的量子物性表征

850

2023年5月

5

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射频离子源

用于样品镀膜前的表面清洁

300

2023年6月

6

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参数化射频数据转换系统

用于射频电子元器件数据转换

1200

2023年6月

7

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高密度一体化低温微波链路

用于低温下器件的信号传输

1500

2023年6月

8

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稀释制冷机

用于为芯片测试提供低温环境

2000

2023年7月

9

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磁学测量系统

用于超导体、拓扑绝缘体、拓扑半金属等相关材料器件的磁性表征

450

2023年5月

10

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低温磁场扫描隧道显微镜系统

用于低温样品的高精度扫描

650

2023年5月

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多源炉薄膜生长设备的源炉

用于高质量低维多层膜及复合结构的制备

150

2023年6月

12

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超精细无液氦低温光学恒温器

用于低温环境下光学性能的测量

170

2023年6月

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光学浮区炉

通过光学浮区技术制备单晶硅片

280

2023年6月