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原子层沉积设备

制备超导量子芯片

300

2023年8月

2

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全指令化集成微波测控系统

使用直接射频回放DAC直接生成操控与读取激励的微波脉冲信号

3000

2023年8月

3

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量子操控直接微波收发系统

产生控制量子比特的微波信号和激发谐振腔读取超导量子比特

3000

2023年8月

4

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高频任意波发生器

用于产生量子比特和可调耦合器的偏置信号、Z控制信号等

1000

2023年8月

5

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网络分析仪

用于快速标定超导量子比特的基本参数

200

2023年8月

6

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InP HEMT低温低噪声放大器

在低温区将极其微弱的读出微波信号放大

200

2023年8月

7

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HBT低温低噪声放大器

在低温区将极其微弱的读出微波信号放大

150

2023年8月

8

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三维电磁波仿真套件

芯片版图仿真

100

2023年8月