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原子力显微镜

用于样品表征样品形貌

260

2023年9月

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激光植球机

用于芯片封装

400

2023年9月

3

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近红外宽场成像系统

用于量子点荧光成像

240

2023年10月

4

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电子束蒸发设备

用于电子器件的蒸镀

300

2023年9月

5

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光学频率梳

用于测量未知的光学频率

330

2023年9月

6

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任意波形发生器

用于产生量子比特和可调耦合器的偏置信号、Z控制信号等

380

2023年9月

7

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金属刻蚀机

用于刻蚀金属样品材料

400

2023年9月

8

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反应离子刻蚀机系统

用于超导薄膜刻蚀

250

2023年9月

9

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氟化氢蒸汽刻蚀机系统

用于氧化硅（SiO2）介质层释放刻蚀

270

2023年9月

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低压力化学气相沉积系统

用于制备高质量高应力氮化硅薄膜

350

2023年9月

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磁控溅射系统

用于制备高质量超导纳米薄膜

370

2023年9月