名称：电子束蒸发系统

品牌：Adnanotek

型号：EBS150

产地：中国台湾

参数：

•      本底真空度：≤3.75×10^-9 Torr；

•      样品台：360°轴向旋转；

•      最大晶圆尺寸：4 inch；

•      电子束蒸发源：电源功率6 kW（最高电压-10 kV，最大电流600 mA），4个40 cc坩埚；

•      膜厚仪：ULVAC CRTM-6000；

•      沉积材料：Al、Ti等。