名称：感应耦合等离子体刻蚀机

品牌：Oxford Instruments

型号：Plasma Pro 100

产地：英国

参数：

•      气体：Cl₂、BCl₃、HBr、SF₆、CHF₃、CH₄、H₂、Ar、N₂；

•      最大射频功率：ICP为3000 W，HF为300 W；

•      终点监测：激光终点监测，实时显示，激光波长670 nm；

•      下电极：背氦传热，内置加热器，水冷控制，温度范围在-30 ℃至80 ℃；

•      最大晶圆尺寸：8 inch；

•      刻蚀材料：III-V族半导体、SiO₂等。