名称：接触式曝光机

品牌：SUSS

型号：MA/BA6 Gen4

产地：德国

参数：

•      晶圆尺寸：2-6 inch；

•      光源波长：350-450 nm；

•      曝光模式：软接触、硬接触、真空接触和接近式；

•      曝光精度：0.8 μm；

•      正面套刻对准精度：±0.25 μm；

•      背面套刻对准精度：±1.0 μm。