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研究团队

微纳加工平台

微纳加工平台
关于

该平台目前共计10人，其中高级工程师7人，场务工程师2 人。平台定位于为量子院乃至全国量子信息技术研究提供顶尖的技术支撑条件，凝练出一支具有世界级水准的工程师队伍，拓展微纳尺度芯片和器件加工的技术能力，协助量子计算与量子通信等领域科研人员完成最前沿的研究，为国内量子领域科技自主创新打下坚实的技术基础。

平台负责人：吴蕊

激光直写光刻机

激光直写光刻机.jpg



接触式曝光机

接触式曝光机.jpg



扫描电子显微镜（配EBL附件）

扫描电子显微镜（配EBL附件）.jpg





反应离子刻蚀机

反应离子刻蚀机.jpg


感应耦合等离子体刻蚀机

感应耦合等离子体刻蚀机.jpg



深硅刻蚀机

深硅刻蚀机.jpg


聚焦离子束系统

聚焦离子束系统.jpg


等离子体去胶机

等离子体去胶机.jpg



电子束蒸发系统

新电子束蒸发更新.jpg


原子层沉积系统

原子层沉积系统.jpg


等离子体增强化学气相沉积系统

等离子体增强化学气相沉积.jpg


超高分辨镀膜仪

超高分辨镀膜仪.jpg


全自动溅射仪

全自动溅射仪.png


接触式轮廓仪

接触式轮廓仪.jpg



数码显微镜

数码显微镜.jpg


体视显微镜

体视显微镜.jpg


金相显微镜

金相显微镜.jpg




快速退火炉

快速退火炉.jpg


精密划片机

精密划片机.jpg


酸碱操作台、有机操作台、超纯水系统

酸碱操作台、有机操作台、超纯水系统.jpg


金带键合机

金带键合机.jpg


热板

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匀胶机

匀胶机.jpg


超纯水机

超纯水机.jpg





团队成员

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