平台定位于为量子院乃至全国量子信息技术研究提供顶尖的技术支撑条件,凝练出一支具有世界级水准的工程师队伍。
微纳加工平台
李铁夫
张建刚
激光直写光刻机
接触式曝光机
扫描电子显微镜(配EBL附件)
反应离子刻蚀机
感应耦合等离子体刻蚀机
深硅刻蚀机
聚焦离子束系统
等离子体去胶机
电子束蒸发系统
原子层沉积系统
等离子体增强化学气相沉积系统
超高分辨镀膜仪